Diese
von der LIGA abgeleitete Technik ermöglicht die Herstellung von mehrstufigen
Komponenten. Durch Photolithographie werden „Hohlräume“ geformt welche in
Kombination mit der Galvanotechnik ein zweites Niveau kreieren. In der Endphase
werden die Komponenten dank herkömmlicher Mechanik auf die gewünschte Höhe
zugeschliffen. |
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