Integrierte Steine (1)

Zusätzliche Bauteile können jetzt noch vor der Galvanisierung eingefügt uns somit komplett in die UV-LIGA-Komponenten integriert werden. Die hohe Auflösung der Photolithographie ermöglicht zum Beispiel Steine mit einer Präzision von ± 2µm einzugliedern. Das Einbauen der Steine wird somit vereinfacht.
Patent EP 191.65.67.B1