UV-LIGA Fertigungsschritte
 |
Ein Wafer (rundes Substrat aus Silizium) wird mit einem Fotolack beschichtet und durch eine Maske hindurch mit UV-Licht belichtet. Die belichteten Stellen des Lackes reagieren unter der Energie des Lichtes und härten aus (Polymerisierung). |
 |
Anschliessend wird der Wafer entwickelt was die unbelichteten Zonen ablöst. Zurück bleibt eine Struktur die dem Negativ des schlussendlichen Bauteils entspricht. |
 |
Der Wafer mit den Strukturen wird in einem elektrolytischen Bad galvanisiert. Die Strukturen werden aufgefüllt und das zu erzeugende Bauteil entsteht in seiner rohen Form. |
 |
In weiteren Schritten werden die Bauteile geläppt, der Wafer und der Fotolack abgelöst und das gewünschte Bauteil bleibt zurück! |
 |
©Tout droits réservés à Mimotec SA