Pierres intégrées (1)

Dans le processus de fabrication UV-LIGA, il est à présent possible d’insérer des éléments avant l’opération de croissance galvanique. La précision issue de la photolithographie permet un positionnement des pierres à +/- 2µm. Les opérations d’empierrage sont ainsi simplifiées. (1) Brevet EP 191.65.67.B1